概述测量显微镜及特点
测量显微镜专为使用金相显微镜或立体显微镜进行测量而开发。可通过估算载物台位移在 X、Y、Z 方向上测量目标形状。其测量精度约为1µm。由于需要目测尺寸,因此可能会因用户的技能水平高低而产生测量误差。
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