本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用

1、水：设备配有上水口及下水口，客户需连接自来水冷却及下水口排水

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好基地

3、气：无

4、工作台：尺寸800mm(L)*600mm(W)*700mm(H)，承重50kg以上

5、通风装置：需要

1、可用计算机进行控制，允许您自己编制程序，进行切割

2、主轴采用3000转大扭矩直流电机，通过控制调速旋钮，使速度在300-3000rpm内可调

3、旋转台可进行手动或自动控制的水平360°旋转，转动公差±0.01°，操作简单方便

4、配有8英寸的精密真空吸盘，划片晶圆直径可达200mm。切割时使用Φ220mm载物盘，切割行程可达200mm×200mm

5、可根据材料的尺寸选用适合的锯片和夹锯垫

1、电源电压：220V

2、主轴驱动功率：180W

3、主轴转速：300rpm-3000rpm

4、X轴行程：200mm

5、Y轴行程：200mm

6、Z轴行程：55mm

7、步进电机分辨率：0.0025mm

8、步进电机定位精度：0.01mm

9、可加工划片厚度：0.05mm-2.5mm

10、可切割最大深度：10mm（局部可达30mm）

11、工作台旋转：360°±0.01°

12、玻璃载物盘：Φ220mm

13、真空吸盘：Φ200mm（8″）

14、锯片：划锯片Φ86mm×Φ70mm、切割片Φ100mm×Φ12.7mm

尺寸：700mm×530mm×750mm

1、全烧结金刚石锯片(Φ100mm×Φ12.7mm×0.35mm、Φ76mm×Φ12.7mm×0.23mm)

2、边缘烧结金刚石锯片(Φ100mm×Φ12.7mm×0.4mm、Φ150mm×Φ12.7mm×0.5mm)

3、金刚石划锯片(Φ86mm×Φ70mm×0.15mm)

4、TW-1型无油真空泵

5、划锯片夹锯垫