序号

名称

技术参数

1

平场目镜

正像大场高眼点目镜PL10X/25mm

2

物镜

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜5X NA0.15 WD14.35

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜10X NA0.30 WD8.5

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜20X NA0.40 WD10.8

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜50X NA0.75 WD3.0

无限远长工作距明暗场半复消色差金相物镜100X NA0.90 WD1.0（选购）

3

光学放大倍数

50X-500X（选购100倍物镜后放大倍数50-1000X）

4

数码放大倍数

150-3000X(搭配1200万相机及100倍物镜，显示器22英寸情况下)

5

观察头

铰链三通观察筒，瞳距调节：50mm~76mm，两档分光比双目:三目=100：0

6

转换器

5孔明场物镜转换器（带DIC插槽）.

7

调焦机构

透反射用机架, 低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V宽电压系统，采用数字调光，具有光强设定与复位功能

8

载物台

6英寸平台，平台面积 450*240mm，移动行程：158mmX158mm机械平台，X、Y方向同轴调节；含快速移动装置 

9

偏光组件

起偏镜插板，360°旋转式检偏镜插板

10

反射照明系统

明暗场反射照明器，带可变孔径光阑，视场光阑，中心可调，带滤色片插槽，带起偏镜/检偏镜插槽，5W可调LED灯室，预定中心

11

透射照明系统

5W可调LED灯室，透、反射通用，预定中心

12

聚光镜

摇出式消色差聚光镜（N.A.0.9）

13

摄像接口

0.65倍专用摄像接口

14

干涉组件

微分干涉板（选购）

15

显微镜工业相机

高清1200万显微相机 或2000万像素 （选购）

16

图像处理软件

拍照，录像，测量，实时图像拼接，景深融合等（选购）

17

标尺

高精度型测微尺，格值0.01m 总长1mm（选购）

18

晶圆转盘

8寸通用晶圆转台兼容6/4寸（选购）