解决方案

AWL晶圆显微检查系统,晶圆晶面伤痕微尘宏观检查

AWL显微镜晶圆检查系统

兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。拥有AWL046、AWL068两种机型，分别可适用于4/6英寸晶圆检测，6/8英寸晶圆检测，适应范围广、搭配灵活。可自由设置的检查模式，充分符合人机工程学设计，操作舒适、简便。

360°宏观检查

具有宏观检查手臂，可以实现晶面宏观检查、晶背宏观检查1的360°旋转，更为容易发现伤痕和微尘。通过操作杆可随意将晶圆倾斜观察。晶面最大倾斜角度为70°，晶背1最大倾斜角度为90°，晶背2最大倾斜角度为160°，利用旋转功能、倾斜角度，完全可以目视检查整个晶圆正反面及边缘。

人机工程学设计

LCD显示屏，可为操作者提供更直观的实觉体验，可清晰的显示当前检查项目及次序，调试参数一目了然。手动快速释放真空载物台可提高操作者的舒适度和工作效率。



 
 
 
 

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