WMZ-9190研究型硅片专用检测显微镜
WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
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WMZ-9190明暗场硅片检测显微镜是适用于对太阳能电池硅片的显微观察。本仪器配有大移动范围的载物台、落射照明器、长工作距离的平场消色差物镜、大视野目镜，图像清晰、衬度好，同时配有偏光装置，及其高像素的数码摄像头. 本仪器配有暗场物镜,使观察硅片时图像更加清晰,是检测太阳能电池硅片的”金字塔” 的微观形貌分布情况,及硅片的缺陷分析的理想仪器.
硅片检测显微镜可以观察到肉眼难观测的位错、划痕、崩边等;还可以对硅片的杂质、残留物成分分析.杂质包括: 颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等，造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象，使磨片不合格. 是太阳能电池硅片生产过程中必不可少的检测仪器之一.
标准配置 | |
目镜 | 大视野 WF10X(视场数Φ22mm) |
无限远长工作距离平场消色差物镜 | PL L5X/0.12 工作距离：26.1 mm |
PL L10X/0.25 工作距离：20.2 mm | |
PL L40X/0.60 工作距离：3.98 mm | |
PL L60X/0.70 工作距离：3.18 mm | |
PL L100X/0.90 工作距离：2.2 mm （干式） | |
目镜筒 | 30˚倾斜,瞳距调节范围53~75mm. |
调焦机构 | 粗微动同轴调焦,带锁紧和限位装置,微动格值:2μm. |
转换器 | 五孔(内向式滚珠内定位) |
载物台 | 双层机械移动式载物台, 外形尺寸:210mmX140mm,移动范围:63mmX50mm |
落射照明系统 | 6V30W卤素灯，亮度可调 |
配置黄、蓝、绿滤色片与磨砂玻璃片 | |
内置视场光栏、孔径光栏、滤色片转换装置、推拉式检偏器与起偏器 | |
透射照明系统 | 阿贝聚光镜NA.1.25可上下升降 |
集光镜中内置视场光栏 | |
配置蓝滤色片与磨砂玻璃片 | |
6V30W卤素灯、亮度可调 | |
防霉 | 特有防霉系统 |
系统组成 | 电脑型(WMZ-9190C) 1.硅片检测显微镜 2.适配镜 3.摄像器(CCD) 4.计算机（选购） |
数码型(WMZ-9190D) 1、硅片检测显微镜 2、适配镜 3、数码相机（选购） | |
可选配件 | |
目镜 | 分划目镜10X（Φ22mm） |
物镜 | 明场物镜 20X、50X、80X |
CCD接头 | 0.5X、1X、0.5X带分划尺 |
摄像仪 | USB输出：130/300/500/1000万像素 |
数码相机接头 | CANON(EF) NIKON(F) |
分析软件 | 二维图像测量分析软件 |
