DIC95/45分属于无穷远和有限远两个光学系统,除选配的国产物镜外,其他的功能质量都是上乘之作,光源可选LED和光纤冷光源,主要是为了适合不同预算的客户挑选,全部零件和优秀的光学系统均有进口零部件组装由国外技术工程师把关调试和技术控制,整套DIC系统 ,物镜上方的DIC棱镜可作水平和上下微调,两个方向的线偏振光分合所形成的浮雕图像,具有强烈的立体感,极适合于芯片封装后的品检很微小的突起,细微划痕的观察,测量,这在通常光学系统是无法观察的。
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用途:
DIC95/45分属于无穷远和有限远两个光学系统,除选配的国产物镜外,其他的功能质量都是上乘之作,光源可选LED和光纤冷光源,主要是为了适合不同预算的客户挑选,全部零件和优秀的光学系统均有进口零部件组装由国外技术工程师把关调试和技术控制,整套DIC系统 ,物镜上方的DIC棱镜可作水平和上下微调,两个方向的线偏振光分合所形成的浮雕图像,具有强烈的立体感,极适合于芯片封装后的品检很微小的突起,细微划痕的观察,测量,这在通常光学系统是无法观察的。
主要技术参数:
1.镜筒:铰链式三目头部 30°倾斜 270°旋转
2. 高眼点平场目镜: WF10X/22
3. 长工作距离工业显微物镜
f=200mm用全平场复消色差物镜/MPlan APO | ||||||
物镜数据 |
| |||||
倍率 | 2X | 5X | 10X | 20X | 50X | 100X(选购) |
NA | 0.055 | 0.14 | 0.28 | 0.42 | 0.55 | 0.55 |
W.D(mm) | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 | 13 |
焦点距离(mm) | 100 | 40 | 20 | 10 | 4 | 2 |
分解率(µm) | 5 | 2 | 1 | 0.7 | 0.5 | 0.5 |
焦深(µm) | 91 | 14 | 3.58 | 1.6 | 0.9 | 0.9 |
4. 水平转换器:五孔转换器,可对每个转换口进行调焦和调中,以消除物镜和转换器的制造误差,保证测量精度。(本项已申请专利)
5. 落射式照明系统: 高亮度LED灯(5W)
6. 调焦结构:粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置, 粗动升降范围30mm,微动格值,0.001mm*100格,数显解析值 0.0005mm。
8. Z轴升降范围:38mm以内,手轮转动130mm 允许Zui高工件 130mm,导轨精度3+L/1000
X轴移动范围:200mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
Y 轴移动范围:100mm 解析率:0.001mm 可解锁手动快进,
测量精度(3+L/100)um (L: 被测长度,um)
落射光测量误差≤0.08%
9. 工作台尺寸: 360mm*250mm 玻璃板尺寸: 225mm *175mm 工作台承重: 30kg
10.仪器外型尺寸:380mm*550mm*830mm
11. 净重:100kg 毛重:120kg